RWSE 单臂晶圆机器人
特征
具软硬体垂直整合优势,
采用高精密、高刚性之直驱马达,
重复精度可达到±0.1mm。
且回转半径小,大幅提升空间使用率。
支援非径向取放功能,
末端可再选配马达驱动之模组实现翻转功能
应用
适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。
关键零组件自制
机械手臂中的各关键零组件,如滚珠丝杠、直驱电机等,皆由HIWIN自行研发制造,取件直接,软硬体垂直整
合,可提供高品质的机器手臂,提升您的竞争力,且可依客户生产需求提供客制化服务。
半导体产业
●晶圆搬运 ●晶圆翻转搬运 ●铁框传送
LED产业 面板产业[小型面板)
●蓝宝石基板搬运 ●GripRing(胶环]搬运 ●面板搬运 